2024年，一个好意思国网友在Quora上抛出一句让东说念主迷轮廓糊的问题：“莫得好意思国的允许，中国咋敢私行研发DUV光刻板？”DUV光刻板，深紫外线光刻时期，芯片制造的“刻字机”，用193纳米的光源形容电路，时期练习，老本便宜孙悦车震门，是大众芯片量产的守旧。

可好意思国网友这话里透出的道理，却八成中国连摸这时期都得先经过他们点头似的。几十年来，好意思国没少在科技上给中国使绊子，中国硬是把DUV光刻机从零作念到能用，中国这条自强之路，到底藏着若干不为东说念主知的故事？

被“卡脖子”后的觉悟

2024年，有个好意思国网友跑到Quora上发了个问题，原文差未几是：“莫得好意思国的允许，中国咋敢私行研发DUV光刻板？”言下之意，八成中国连搞点科技神志都得先去好意思国那边递个央求，盖个章才行似的。

这种口吻摆明了透着一股窘态其妙的优厚感，仿佛全寰宇都得围着好意思国的礼貌转。可事实是，科技发展这事儿，谁也没轮番非得经过谁的原意，中国在这条路上走得稳安定当，完全没必要看谁的色彩。

好意思国的科技约束对中国来说，早就不是什么崭新事儿，尤其是芯片规模，这事儿得从好几十年前提及。那时候，西方国度在芯霎时间上确乎遥遥当先，好意思国、日本、荷兰这些国度，把高端芯片制造的中枢斥地——光刻机——攥得死死的。

光刻机这东西，浮浅说便是芯片分娩的“大脑”，莫得它，芯片便是畅谈。好意思国的策略极度平直，他们不光我方锁住时期不卖给中国，还拉着其他国度一王人玩“顽固游戏”。

比如，日本有尼康和佳能，荷兰有ASML，这些都是光刻机规模的顶尖玩家，可在好意思国一声令下，他们的斥地出口王人备得听联结。

2019年，好意思国负责把华为列入实体清单，顺带着把光刻机联系的时期出口也卡得严严密实。ASML蓝本跟中国有订单在谈，一台DUV光刻机都快装船了，后果好意思国一插足，来回平直黄了。

日本和荷兰这些公司天然时期牛，但濒临好意思国的压力，也只可硬着头皮实施禁令，没东说念主敢冒着得罪好意思国的风险暗暗卖斥地。

这波操作下来，中国算是绝对被“卡住了脖子”。芯片制造需要光刻机，光刻机买不到，分娩线就得停摆，那时国内不少企业只颖慧横目。

2010年代初，中国芯片入口额一年就超越2000亿好意思元，比石油还高，可见依赖有多严重。但这事儿也像一记警钟，敲醒了中国凹凸。靠别东说念主送时期，那是靠不住的，指望西方松口更是离奇乖癖。

从那时候起，国度启动把资源往自主研发上歪斜。2014年，国度集成电路产业投资基金成立，第一期就募了1387亿元，专诚砸向芯片产业链。科研院所、企业王人备动起来，光刻机的研发成了重中之重。

上海微电子装备公司（SMEE）扛起了国产光刻机的大旗，从基础光学系统到精密机械，步步激动。

到了2020年，国产DUV光刻机的原型机还是能跑起来了，天然跟ASML的顶尖货还有差距，但起码迈出了要津一步。几年下来，供应链、时期链少量点补王人，DUV光刻机的冲破成了独力新生的最佳诠释。

DUV光刻机到底是个啥？孙悦车震门

要说DUV光刻机是个啥，得从芯片制造的经过讲起。这玩意儿实质上是台高精度的“刻字机”，专诚用来把电路图案刻到硅片上。它用的是193纳米的深紫外线光源，这种光通过一整套复杂的光学系统，把缠绵好的芯片蓝图投射到涂了光刻胶的硅片上。

光刻胶被光照过的方位会发生化学响应，留住图案印迹，再经过蚀刻、千里积等才智，芯片的涌现就成型了。

193纳米这个波长听着挺玄乎，其实是氩氟激光器发出来的深紫外线，比更先进的EUV光刻机（用13.5纳米极紫外线）粗鄙点，但平允是时期练习，斥地造起来没那么辛勤。

DUV光刻机极度适当分娩7纳米到28纳米的芯片，这些芯片不算最顶端，可却是电子产物里的“主力军”，像智妙手机、汽车电子、管事器，哪样都离不开。

大众鸿沟内，能造光刻机的国度真未几。荷兰的ASML是大哥，阛阓份额一度占到80%以上，他们的DUV光刻机大众畅销，连好意思国我方的芯片厂都得列队买。日本的尼康和佳能也有份儿，天然份额不如ASML，但时期基础底细不差。

中国这边，上海微电子是主力军，2002年公司刚建速即，只可造90纳米级别的光刻机，离DUV还差得远。可这些年当先迅速，到2023年，国产DUV光刻机还是能作念到28纳米制程，离完全自主分娩只差临门一脚。

台积电的分析师2024年公开提到，中国大陆在DUV光刻机上的时期瓶颈基本扫清，斥地清醒性、良品率都在稳步进步。这不是空论，背后是几十年的时期积攒。光刻机的中枢部件，像光源系统、镜头组、工件台，每一块都得从零启动攻关。

上海微电子跟中科院光电所配合，花了十几年时候，才把193纳米光源的国产化处置。比拟之下，好意思国我方并对抗直造光刻机，他们更依赖ASML的供货，眼看着中国在这块奋发有为，未免有点坐不住。

DUV光刻机这东西，说白了便是量产芯片的“使命马”，中国一朝绝对掌合手，大众芯片形式就得从头算账。

从“落伍”到站稳脚跟

中国科技的崛起不是一朝一夕就能完成的，回头看上世纪，那时候的情况确乎窒碍乐不雅。20世纪50年代，新中国刚成立，工业基础的确是零首先，时期储备更是淡泊。别说造芯片了，连基本的工业斥地都得靠从苏联入口。

到了60年代，天然有了些当先，但跟西方比，差距如故天上地下。芯片这东西，那时对中国来说完全是“洋玩意儿”，全靠从好意思国、日本这些国度买制品。70年代末改进怒放后，情况才启动缓缓改不雅，但时期依赖的问题依然严重。

1980年代，中国启动意志到半导体的伏击性，可那时候国内连一台像样的光刻机都莫得，芯片制造完全是空缺。西方国度趁着时期上风，把高端斥地和高精尖时期紧紧锁在手里，中国念念买都买不到，只可从低端作念起。

这种落伍场地一直不时到90年代，直到国度下决心要蜕变。1990年，国度启动了“908工程”，专诚针对集成电路产业，参加资金启动建厂、搞研发。天然起步贫困，但总算迈出了第一步。

2000年以后，“863计较”又加了一把火，把光刻机列为重心攻关神志。上海微电子装备公司那时候还是成立，启动从最基础的光刻机型号摸索。

2002年，他们造出了第一台90纳米的光刻机，天然跟国外主流比还差得远，但好赖有了我方的斥地。接下来的20年，研发脚步没停过。

2010年代，国度集成电路产业投资基金（大基金）成立，第一期就砸了1387亿元，专诚辅助芯片产业链凹凸游。从材意象斥地，再到制造工艺，每一块都在补课。到了2020年，国产DUV光刻机的原型机负责亮相，能作念到28纳米制程。

反过来看好意思国，他们在顶端时期上确乎还有当先的方位，比如EUV光刻机的研发和哄骗，可他们更习气用霸权技能压东说念主。2019年对华为的制裁，2020年对ASML的出口截止，都是这种套路。濒临中国一步步追上来，他们的招数似乎越来越岂论用了。

全寰宇都在看好意思国的见笑

ASML的DUV光刻机卖不出去，荷兰的亏蚀就得我方扛，好意思国的半导体企业也少不了随着吃亏。

2021年，大众芯片枯竭闹得沸沸扬扬，好意思国我方都得求着台积电、三星加班加点分娩，连汽车厂都停产好几个月。反过来，中国这边没闲着，光刻机被卡住后，国产替代的设施反而更快了。

2024年5月，塔斯社放出一条重磅音书：俄罗斯的第一台光刻机还是造出来了，正在紧锣密饱读地测试中。这事儿可不是璷黫说说，俄罗斯联邦工业和交易部副部长瓦西里·什帕克（Vasily Shpak）躬行站出来证据，这台斥地颖慧啥？它能分娩350纳米工艺的芯片。

自从2014年克里米亚事件后，好意思国带头拉着盟友对俄罗斯实施制裁，高技术斥地的入口渠说念被掐得死死的，尤其是荷兰ASML这种光刻机巨头，平直断了供。

350纳米工艺听起来不算先进，毕竟当今大众芯片早就奔着7纳米、5纳米去了。可对俄罗斯来说，这台光刻机的道理不在于跟谁比顶端，而在于迈出了自主的第一步。这种工艺能造的芯片，用在军工斥地、工业适度系统上完全够使，比如雷达、通讯基站这些规模。

好意思国的刻薄作念法，缓缓让其他国度识破了它的套路。加拿大一家媒体就刊文讥笑，好意思国的制裁若是再细化下去，是不是连工场的土地、水泥，以致工东说念主的空气都要管。

这种夸张的说法，点出了好意思国策略的乖张。欧洲国度也启动咕哝，荷兰政府就曾公开牢骚，好意思国的出口料理让他们掌握为难。

日本企业相似不爽，尼康的高管暗里说过，好意思国的压力让他们丢了不少订单。其他国度看着中国嘱托压力往前走，也多了几分开脱依赖的底气，好意思国的霸权招数，逐渐成了大众眼里的见笑。

参考辛勤：[1]程小梅,尹春梅.专利视角看光刻机时期哄骗[J].中国科技信息,2024(19):42-44

孙悦车震门